Labor- und Reinräume werden benötigt für die Herstellung bestimmter Arzneimittel, elektronischer Bauteile (Chips), Sydets usw.
Eine gleichmäßige relative Luftfeuchte von 50 % verhindert die Austrocknung bestimmter Arzneimittel und Proben bei Herstellung und Lagerung, trägt aber auch zur Vermeidung statischer Elektrizität bei. Desweiteren ist die Minimierung der Staubentwicklung eine wichtige Bedingung für Reinraum-Klima.
Hier ist der Dampfbefeuchter mit all seinen Vorteilen der am meisten eingesetzte Befeuchter. Andere, mit Wasser betriebene Systeme (Wasseraufbereitung erforderlich), bergen Gefahren, die z. B. bei Ausfall der Wasseraufbereitung zu erheblichen Kosten führen können.
Da aber gerade in der Reinraumtechnik die Sicherheit oberstes Gebot ist, wird nur die Dampfbefeuchtung den hohen Anforderungen gerecht.